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泰勒霍普森白光干涉儀CCI信息
點擊次數：88 更新時間：2026-01-13
 

CCI HD：適配制造與研究領域的高精度膜厚測量方案

CCI HD 是非接觸式光學 3D 輪廓儀，具備精準測量薄膜與厚膜的核心能力。其采用關聯算法，可精準定位由精密光學掃描裝置生成的干涉圖相干峰與相位；整合非接觸式尺寸測量技術與優異的厚薄膜測量方案，除提供尺寸、粗糙度測量功能外，還可實現兩種類型的膜厚測量。
近年來，厚膜分析已廣泛應用于厚度約 1.5 微米的半透明涂料研究，實際測量厚度上限取決于材料折射率與標的物數值孔徑（NA）。相對而言，薄涂層測量難度更高，而通過干涉測量法，現已可實現厚度低至 50 納米的薄涂層研究（測量上限同樣取決于材料折射率）。借助該新型測量方法，可在單次測量中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關鍵特性參數。
泰勒·霍普森 CCI HD 非接觸式白光干涉輪廓儀核心優勢參數：

  1. 2048×2048 像素陣列，兼具寬廣視場與高分辨率

  2. 全量程 0.1 埃超高分辨率

  3. 適配 0.3% - 100% 全范圍表面反射率測量

  4. 重復性優異：<0.2 埃 RMS 重復性，<0.1％ 臺階高度重復性

  5. 搭載多語言版本 64 位控制與分析軟件，操作便捷

  6. 2.2 mm 垂直測量范圍，配備閉環無壓電 Z 軸掃描儀

  7. 標準配置 AutoStitch 功能，可實現大型零件的高分辨率測量
 
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